반도체 제조 중 LED 상태 표시

TL30 베이지 경광등은 단일 웨이퍼 증착 기계 근처에서 작업하는 직원에게 눈에 잘 맞는 지침을 제공합니다

효율성과 출력을 향상시키려면 단일 웨이퍼 증착 기계에서 FOUP (Front Opening Unified Pod)의 상태를 모니터링 해야합니다. 타워 라이트는 FOUP의 상태를 쉽게 실시간으로 표시할 수 있으므로이 과제에 대한 일반적인 솔루션입니다. 그러나 이러한 FOUP와 함께 매일 일하는 직원은 위험에 노출됩니다. 열악한 타워 조명에 장시간 노출되면 눈에 피로가 생겨 생산성이 떨어질 수 있습니다. 배너의 TL30 베이직 경광등은 눈에 편안한 읽기 쉬운 표시로 이 과제를 해결합니다.

사용 시 이점

  • TL30 베이직 경광등은 30mm의 얇은 원통형 몸체로 공간을 절약합니다. 큰 경광등으로 움직임을 방해할 수있는 환경에 편안하게 맞습니다.
  • 견고한 IP65 및 IK07 등급 하우징 및 LED 조명으로 장기적인 유지 보수가 필요없는 높은 비용 효율성
  • 직원이 장시간 동안 경광등에 매우 근접하여 작업하는 어플리케이션에서 눈에 편안한 조명

  • 명확한 기계 상태 표시는 제조 공정을 촉진할 수 있습니다

  • TL30 경광등은 증착 진행의 현재 단계를 나타냅니다

  • 소형 TL30 경광등은 완전히 독립된 장치로 컨트롤러가 필요하지 않습니다

상태 표시 

반도체 장치를 제조하는 공정에서, 증착은 많은 단계 중 하나입니다. 이 단계들 사이에, 실리콘 웨이퍼는 운송을 위해 통제된 환경에 저장되도록 FOUP에 배치됩니다. 하나의 웨이퍼 증착 기계에 동시에 하나 이상의 FOUP를 로드할 수 있습니다. 웨이퍼가 FOUP에서 처리되고 재 저장된 후에, 그 FOUP는 제거되고 새로운 것으로 교체 될 수 있습니다.

클린 룸에서 일하는 직원에게 각 FOUP의 상태를 명확하게 표시하면 직원들의 업무 효율성이 향상되고 생산량이 증가합니다.

모두에게 적합한 경광등

밝은 경광등에 근접하여 발생하는 눈의 피로는 오류 증가 및 생산성 손실을 유발할 수 있습니다. TL30 베이직 경광등은 보기 쉬운 상태 표시를 우선시 하지만, 그 디자인은 빛의 양에서 균형을 유지하여 사람의 눈에 부담이 없고 편안합니다. 이를 통해 직원은 불편함 없이 하나 이상의 경광등 근처에서 장시간 작업할 수 있습니다.

공정 단계 별 색상

단일 웨이퍼 증착 기계에 배치된 각 FOUP 위에 설치되는 TL30은 프로세스의 해당 단계에 해당하는 특정 색상으로 설정하여 FOUP의 상태를 나타냅니다. 이 표시는 FOUP 상태를 한 눈에 즉시 확인할 수 있습니다. 단계가 완료되면 TL30은 주변 빛으로 인한 잘못된 인식을 피하기 위해 회색으로 변경됩니다. TL30이 녹색 세그먼트를 비추면 FOUP를 꺼내어 새로운 웨이퍼 증착 기계에 넣을 수 있습니다.

Select Country

Turck worldwide